Aplikácia infračerveného mikroskopu v mikrozariadeniach v elektronickom priemysle
Smer aplikácie: funkcia infračerveného mikroskopu pri meraní teploty mikro polovodičových zariadení.
Po druhé, pozadie:
S rozvojom nanotechnológie sa v oblasti polovodičovej techniky čoraz viac uplatňuje jej miniaturizácia zhora nadol. Technológiu IC sme zvykli nazývať „mikroelektronika“ technológia, pretože veľkosť tranzistorov je v úrovni mikrónov (10-6 metrov). Polovodičová technológia sa však vyvíja veľmi rýchlo a každé dva roky postúpi o jednu generáciu a jej veľkosť sa zníži na polovicu pôvodnej veľkosti. Toto je slávny Moorov zákon. Asi pred 15 rokmi začali polovodiče vstupovať do éry submikrónových, teda menej ako mikrónových, a potom nastala éra hlboko submikrónových a oveľa menších ako mikrón. V roku 2001 bola veľkosť tranzistora dokonca menšia ako 0,1 mikrónu, teda menej ako 100 nanometrov. Preto je to éra nanoelektroniky a väčšina budúcich integrovaných obvodov bude vyrobená z nanotechnológií.
Po tretie, technické požiadavky:
V súčasnosti je hlavnou formou zlyhania elektronických zariadení tepelné zlyhanie. Podľa štatistík je 55% porúch elektronických zariadení spôsobených teplotou presahujúcou stanovenú hodnotu. So zvyšujúcou sa teplotou exponenciálne rastie poruchovosť elektronických zariadení. Všeobecne povedané, prevádzková spoľahlivosť elektronických komponentov je mimoriadne citlivá na teplotu a spoľahlivosť sa zníži o 5 % pri každom zvýšení teploty zariadenia o 1 stupeň na úrovni 70-80 stupňov. Preto je potrebné rýchlo a spoľahlivo zistiť teplotu zariadenia. Keďže veľkosť polovodičových súčiastok je čoraz menšia, kladú sa vyššie požiadavky na teplotné rozlíšenie a priestorové rozlíšenie detekčných zariadení.
Po štvrté, nasnímajte tepelnú mapu na mieste (umiestnenie: model známeho vedeckého výskumného ústavu: INNOMETE SI330)
