Koľko nanometrov môže vidieť konfokálny mikroskop?
Cieľom materiálovej vedy je študovať vplyv povrchovej štruktúry materiálu na jeho povrchové vlastnosti. Preto je analýza topografie povrchu vo vysokom rozlíšení dôležitá pre určenie parametrov súvisiacich s drsnosťou povrchu, reflexnými vlastnosťami, tribologickými vlastnosťami a kvalitou povrchu. Konfokálne techniky sú schopné merať materiály s rôznymi povrchovými odrazovými vlastnosťami a získavať efektívne merané údaje.
Laserový konfokálny mikroskop, založený na princípe konfokálnej technológie, je inšpekčný prístroj pre mikro- a nano-meracie merania na povrchoch rôznych presných zariadení a materiálov. Vysoké rozlíšenie merania dosahuje 0,5 nm.
Aplikácie
1.MEMS
Meranie rozmerov mikrónových a submikrónových komponentov, pozorovanie morfológie povrchu po rôznych procesoch (vyvolávanie, leptanie, metalizácia, CVD, PVD, CMP atď.), analýza defektov.
2. Presné mechanické komponenty, elektronické zariadenia
Meranie rozmerov mikrónových a submikrónových komponentov, pozorovanie morfológie povrchu po rôznych procesoch povrchovej úpravy, spájkovanie, analýza defektov, analýza častíc.
3. Polovodič/LCD
Pozorovanie povrchovej topografie po rôznych procesoch (vyvolávanie, leptanie, metalizácia, CVD, PVD, CMP atď.), analýza defektov Meranie bezkontaktných šírok čiar, hĺbok krokov atď.
4. Tribológia, korózia a iné povrchové inžinierstvo
Objemové meranie oterových stôp, meranie drsnosti, povrchovej topografie, korózie a povrchovej topografie po submikrónovom povrchovom inžinierstve.
Technická špecifikácia
Model: VT6100
Rozsah zdvihu: 100*100*100mm
Rozsah zorného poľa: 120×120 μm~1,2×1,2 mm
Opakovateľnosť merania výšky (1σ): 12nm
Presnosť merania výšky: ± (0.2+L/100) μm
Rozlíšenie merania výšky: 0,5 nm
Opakovateľnosť merania šírky (1σ): 40nm
Presnosť merania šírky: ± 2 %
Rozlíšenie merania šírky: 1nm
