Analýza optickou mikroskopiou (OM).
Technický princíp
Princíp zobrazovania optického mikroskopu spočíva vo využití ožiarenia viditeľného svetla na povrchu vzorky na spôsobenie lokálneho rozptylu alebo odrazu s cieľom vytvoriť rôzne kontrasty, pretože vlnová dĺžka viditeľného svetla je až 4,000-7, 000 angströmov, je prirodzene najhoršia z hľadiska rozlíšenia (alebo diskriminačnej miery, rozlíšenia, ktoré sa vzťahuje na najbližšiu vzdialenosť medzi dvoma bodmi, ktoré možno rozlišovať). Pri bežnej prevádzke, keďže miera rozlišovania voľným okom je len 0,2 mm, keď je optimálne rozlíšenie optického mikroskopu iba 0,2 um, teoretické maximálne zväčšenie je iba 1, 000 X. Zväčšenie je obmedzené, ale zorné pole je, naopak, najväčšie spomedzi všetkých druhov zobrazovacích systémov, čo vysvetľuje, že pozorovanie optickým mikroskopom môže v skutočnosti ešte veľa poskytnúť predbežných štrukturálnych informácií.
Typy strojov
Analýza aplikácií
Aj keď zväčšenie a rozlíšenie optických mikroskopov nemôže uspokojiť potreby povrchového pozorovania mnohých materiálov, stále sa široko používajú v nasledujúcich aplikáciách, ako sú:
Prierezové štrukturálne pozorovanie komponentov;
Analýza a pozorovanie štruktúry oneskorovača rovinného typu;
pozorovanie zóny bez zrážok;
Pozorovanie zlého zarovnania a preleptania;
Štúdia porúch v stohovaní pri zvýšenej oxidácii (OSF).
