Aké sú faktory, ktoré majú vplyv na rozlišovaciu schopnosť transmisného elektrónového mikroskopu?
A. Priemer bodu dopadajúceho elektrónového lúča: limit rozlišovacej schopnosti SEM. Vo všeobecnosti môže byť minimálny priemer bodu elektrónovej pištole s horúcou katódou znížený na 6 nm a elektrónové delo s emisiou poľa môže spôsobiť, že priemer bodu je menší ako 3 nm.
B. Expanzný účinok dopadajúceho elektrónového lúča vo vzorke: stupeň difúzie závisí od energie dopadajúceho elektrónového lúča a atómového čísla vzorky. Čím vyššia je energia dopadajúceho lúča a čím nižšie je atómové číslo vzorky, tým väčší je objem elektrónového lúča, tým väčšia je plocha signálu generovaného difúziou elektrónového lúča, čím sa znižuje rozlíšenie.
C. zobrazovacia metóda a použitý modulačný signál: keď je sekundárny elektrónový modulačný signál v dôsledku svojej nízkej energie (menej ako 50 eV), priemerný voľný dosah krátky (10 ~ 100 nm alebo podobne), iba v povrchovej vrstve hĺbkový rozsah 50 ~ 100 nm sekundárnych elektrónov môže uniknúť z povrchu vzorky, výskyt počtu rozptylov je veľmi obmedzený, v podstate sa bočne nerozšíril, takže rozlíšenie obrazu sekundárnych elektrónov je približne rovnaké ako lúč priemer bodu. Keď sa spätne rozptýlené elektróny použijú ako modulačný signál, spätne rozptýlené elektróny môžu uniknúť z hlbšej oblasti vzorky (asi 30% efektívnej hĺbky) kvôli ich vysokej energii a schopnosti prenikať. V tomto hĺbkovom rozsahu majú dopadajúce elektróny pomerne širokú bočnú expanziu, takže rozlíšenie spätne rozptýleného elektrónového obrazu je nižšie ako sekundárneho elektrónového obrazu, vo všeobecnosti približne 500 ~ 2000nm. Ak absorpcia elektrónov, röntgenových lúčov, katodoluminiscencia, vodivosť alebo potenciál snímania lúča ako modulačný signál iných režimov činnosti, v dôsledku signálu z celej oblasti rozptylu elektrónového lúča je výsledný skenovací obraz s rozlíšením relatívne nízky, všeobecne v l,{10}} nm alebo l 000 nm alebo viac, než sa líšia.
