Aké faktory v porovnaní s tradičnými optickými mikroskopmi a elektrónovými mikroskopmi obmedzujú rozlišovaciu schopnosť mikroskopov s atómovou silou?
Rozlišovacia schopnosť tradičných optických mikroskopov je obmedzená limitom difrakcie svetla a jeho minimálna rozlišovacia vzdialenosť je polovica vlnovej dĺžky svetla. Rozlišovacia schopnosť elektrónového mikroskopu je tiež obmedzená limitom difrakcie a jeho minimálna rozlišovacia schopnosť je polovica vlnovej dĺžky elektrónu de Broglie, takže elektrónový mikroskop môže dosiahnuť vyššiu rozlišovaciu schopnosť ako tradičný optický mikroskop.
Rozlišovacia schopnosť mikroskopu atómovej sily závisí najmä od: veľkosti hrotu sondy; koeficient pružnosti mikrokonzoly, čím nižší je koeficient pružnosti, tým citlivejší je mikroskop atómovej sily; pomer dĺžky konzoly k dĺžke laserového svetla; citlivosť detektora PSD na polohu bodu . Pre obrázok s určitým rozlíšením platí, že čím menší je rozsah skenovania, tým jemnejšia je získaná topografia povrchu.
