Názov a funkcia každej časti konfokálneho mikroskopu
Na princípe konfokálnej technológie sa konfokálny mikroskop používa na meranie povrchu rôznych presných zariadení a materiálov na mikro a nano úrovni a dokáže priamo zobraziť povrchovú morfológiu vzoriek materiálu s laterálnym rozlíšením až 1 nm. a rozlíšenie osi Z až do 0,5 nm. Môže nielen merať povrchovú morfológiu vzorky a poskytovať funkciu charakterizácie mikroskopickej morfológie merania veľkosti profilu, ale poskytuje aj päť hlavných analytických funkcií, ako je analýza drsnosti, analýza geometrického profilu, štrukturálna analýza, frekvenčná analýza a funkčné analýza. Poskytuje sa aj analýza drsnosti, analýza geometrického profilu, štrukturálna analýza, frekvenčná analýza a funkčná analýza.
Analýza drsnosti zahŕňa plnoparametrovú analýzu podľa ISO4287 drsnosť čiary, drsnosť povrchu ISO25178, rovinnosť ISO12781 atď.; analýza geometrických obrysov zahŕňa meranie výšky kroku, vzdialenosti, uhla, zakrivenia a iných vlastností a hodnotenie priamosti, kruhovitosti a tolerancie tvaru; statická analýza zahŕňa objem otvorov a hĺbku žľabu atď.; frekvenčná analýza zahŕňa smer zrna a spektrálnu analýzu; funkčná analýza zahŕňa analýzu smerového a frekvenčného spektra; frekvenčná analýza zahŕňa analýzu smeru a frekvenčného spektra; a k dispozícii je aj funkčná analýza. Frekvenčná analýza zahŕňa smer textúry a analýzu spektra; Funkčná analýza zahŕňa SK parametre a objemové parametre.
Štruktúra konfokálneho mikroskopu pozostáva hlavne z: mikroskopu, zdroja laserového svetla, skenovacieho zariadenia, detektora, počítačového systému (vrátane získavania údajov, spracovania, konverzie, aplikačného softvéru), zariadenia na výstup obrazu, optického zariadenia a konfokálneho systému.
V oblasti keramiky, kovov, polovodičov, čipov a iných materiálov v oblasti vedy a kontroly výroby má konfokálny mikroskop širokú škálu aplikácií. Konfokálny mikroskop založený na princípe konfokálnej mikroskopie, bezkontaktné skenovanie povrchu zariadenia a vytvorenie povrchového 3D obrazu, prostredníctvom systémového softvéru na povrchovom zariadení, spracovanie a analýza 3D obrazových dát tak, aby sa získali 2D, 3D parametre odrážajúce kvalitu povrchu zariadenia, na dosiahnutie morfológie povrchu zariadenia 3D meranie.
Môže byť široko používaný pri kontrole procesu výroby polovodičov a balenia, 3C elektronická sklenená obrazovka a jej presné časti, optické spracovanie, výroba mikro-nanomateriálov, automobilové diely, MEMS zariadenia a ďalší ultra-presný obrábací priemysel a letecký priemysel, vedecké výskumné ústavy a iné polia. Merajte a analyzujte profil povrchu, povrchové chyby, opotrebovanie, koróziu, rovinnosť, drsnosť, zvlnenie, vôľu pórov, výšku kroku, deformáciu ohybom, opracovanie a ďalšie povrchové vlastnosti rôznych výrobkov, komponentov a povrchov materiálov.
