Rýchla polovodičová kontrola pomocou rôznych metód pozorovania mikroskopu
Polovodičová kontrola leptaných doštičiek a integrovaných obvodov (ICS) počas výrobného procesu je rozhodujúca pre identifikáciu a zníženie defektov. Aby sa zlepšila účinnosť kontroly kvality v skorej fáze výroby a zabezpečila spoľahlivý výkon integrovaných obvodových čipov, by sa mikroskopové roztoky mali kombinovať s rôznymi metódami pozorovania, aby sa poskytli úplné a presné informácie o rôznych defektoch. Tu uvedené metódy pozorovania zahŕňajú jasné pole, tmavé pole, polarizačné DIC, ultrafialové, šikmé osvetlenie a infračervené. Sú integrované do mikroskopov na detekciu a vývoj doštičiek a integrovaných obvodov.
Ako Výrobný priemysel polovodičov ťaží z mikroskopov
Mikroskopické riešenia hrajú dôležitú úlohu pri účinnej a spoľahlivej detekcii, kontrole kvality (QC), analýze porúch (FA) a výskume a vývoji (R&D) v priemysle výroby polovodičov.
V procese výroby polovodičov sa v rôznych krokoch môžu vyskytnúť rôzne typy defektov, ktoré môžu ovplyvniť normálnu prevádzku zariadenia. Čím skôr sa tieto defekty objavia, tým lepšie. Tieto defekty môžu byť spôsobené náhodne distribuovanými prachovými časticami na oblátku (náhodné defekty) alebo škrabancami, odlúčením a zvyškom povlakov a fotoresistom spôsobené podmienkami spracovania (napríklad počas leptania) a môžu sa vyskytnúť v konkrétnych oblastiach zanôk. Vďaka svojej malej veľkosti sú mikroskopy preferovaným nástrojom na identifikáciu takýchto defektov.
Najmä v porovnaní s pomalšími a drahšími mikroskopmi, ako sú elektrónové mikroskopy (EM), majú optické mikroskopy (OM) veľa výhod. Vďaka svojej univerzálnosti a ľahkému použitiu sa optické mikroskopy bežne používajú na kvalitatívne a kvantitatívne štúdie defektov holých doštičiek a leptaných/spracovaných doštičiek, ako aj v procesoch montážneho a balenia integrovaných obvodov (ICS).
Rôzne metódy pozorovania optickej mikroskopie, ako je jasné pole (BF), tmavé pole (DF), kontrastný kontrast s rozdielom (DIC), polarizácia (POL), ultrafialové (UV), šikmé osvetlenie a infračervené (IR) prenášané svetlo [{{0}], pre rýchlu a presnú defektovú defekciu pri rýchlom a presnom defekte.
