Aplikácie konfokálnych mikroskopov v polovodičovom priemysle
V procese-výroby polovodičov vo veľkom meradle je potrebné umiestniť čipy integrovaných obvodov na doštičku, potom ich rozdeliť do rôznych jednotiek a nakoniec ich zabaliť a spájkovať. Preto je presná kontrola a meranie veľkosti drážky na rezanie plátku kľúčovým článkom vo výrobnom procese.
Konfokálny mikroskop série VT6000 je mikroskopické kontrolné zariadenie uvedené na trh spoločnosťou Zhongtu Instrument, ktoré sa široko používa pri výrobe a balení polovodičov. Dokáže vykonávať bez-kontaktné skenovanie a rekonštruovať trojrozmernú{3}}morfológiu povrchových prvkov so zložitými tvarmi a strmými laserovými reznými drážkami.
Konfokálny mikroskop radu VT6000 má vynikajúce optické rozlíšenie a dokáže podrobne pozorovať charakteristiky povrchu plátku pomocou jasného zobrazovacieho systému, ako je napríklad pozorovanie, či sa na povrchu plátku nevyskytujú chyby, ako je zlomenie hrán a škrabance. Elektrická veža dokáže automaticky prepínať medzi rôznymi zväčšeniami objektívu a softvér automaticky zachytáva okraje prvkov pre rýchle dvoj{2}}rozmerné meranie veľkosti, čím efektívnejšie rozpoznáva a kontroluje kvalitu povrchu plátku.
V procese laserového rezania plátkov je potrebné presné polohovanie, aby sa zabezpečilo, že drážky sa dajú vyrezať pozdĺž správneho obrysu plátku. Kvalita segmentácie plátku sa zvyčajne meria hĺbkou a šírkou rezných drážok. Konfokálny mikroskop série VT6000, založený na konfokálnej technológii a vybavený vysoko-rýchlostnými skenovacími modulmi, má profesionálny analytický softvér s funkciami viacerých oblastí a automatickým meraním. Dokáže rýchlo zrekonštruovať trojrozmerný{5}} obrys laserovej drážky testovaného plátku a vykonať analýzu viacerých profilov, aby získal informácie o hĺbke a šírke kanála v priereze-.
