Aké sú faktory ovplyvňujúce rozlíšenie transmisnej elektrónovej mikroskopie?
A. Priemer bodu dopadajúceho elektrónového lúča: je to hranica rozlišovacej schopnosti rastrovacieho elektrónového mikroskopu. Vo všeobecnosti môže byť minimálny priemer bodu lúča horúcej katódovej elektrónovej pištole znížený na 6 nm a elektrónové delo s emisiou poľa môže spôsobiť, že priemer bodu lúča bude menší ako 3 nm.
B. Expanzný účinok dopadajúceho elektrónového lúča vo vzorke: stupeň difúzie závisí od energie dopadajúcich elektrónov lúča a atómového čísla vzorky. Čím vyššia je energia dopadajúceho lúča, tým menšie je atómové číslo vzorky, tým väčší je objem elektrónového lúča a plocha, kde sa generuje signál, sa zväčšuje s difúziou elektrónového lúča, čím sa znižuje rozlíšenie.
C. Použitá zobrazovacia metóda a modulačný signál: keď sa ako modulačný signál použije sekundárny elektrón, v dôsledku jeho nízkej energie (menej ako 50 eV) a krátkej strednej voľnej dráhy (asi 10-100 nm), iba povrchová vrstva 50-100 nm Sekundárne elektróny v hĺbkovom rozsahu môžu uniknúť iba z povrchu vzorky a počet rozptylov je veľmi obmedzený a v podstate sa bočne nerozširuje. Preto je rozlíšenie obrazu sekundárneho elektrónu približne rovnaké ako priemer bodu lúča. Keď sa spätne rozptýlené elektróny používajú ako modulačný signál, energia spätne rozptýlených elektrónov je relatívne vysoká a schopnosť prenikania je silná, takže môžu uniknúť z hlbšej oblasti vo vzorke (asi 30 percent efektívnej hĺbky). V tomto hĺbkovom rozsahu majú dopadajúce elektróny pomerne širokú bočnú expanziu, takže rozlíšenie spätne rozptýleného elektrónového obrazu je nižšie ako rozlíšenie sekundárneho elektrónového obrazu, vo všeobecnosti okolo 500-2000 nm. Ak sa ako modulačné signály použijú iné prevádzkové režimy, ako je absorpcia elektrónov, röntgenové lúče, katódofluorescencia, lúčom indukovaná vodivosť alebo potenciál, keďže signály pochádzajú z celej oblasti rozptylu elektrónového lúča, rozlíšenie získaných skenovacích obrazov je relatívne nízke. , všeobecne pri l 000 nm alebo nad l0000 nm.
